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西門子SO2氣體分析儀的分析檢測原理：  
    西門子SO2氣體分析儀由兩個(gè)獨(dú)立的光源分別產(chǎn)生兩束紅外線該射線束分別經(jīng)過調(diào)制器，成為5Hz的射線。根據(jù)實(shí)際需要，射線可通過一濾光鏡減少背景氣體中其它吸收紅外線的氣體組分的干擾。 
    紅外線通過兩個(gè)氣室，一個(gè)是充以不斷流過的被測氣體的丈量室，另一個(gè)是充以無吸收性質(zhì)的背景氣體的參比室。工作時(shí)，當(dāng)丈量室內(nèi)被測氣體濃度變化時(shí)，吸收的紅外線光量發(fā)生相應(yīng)的變化，而基準(zhǔn)光束（參比室光束）的光量不發(fā)生變化。從二室出來的光量差通過檢測器，使檢測器產(chǎn)生壓力差，并變成電容檢測器的電信號(hào)。此信號(hào)經(jīng)信號(hào)調(diào)節(jié)電路放大處理后，送往顯示器以及總控的CRT顯示。該輸出信號(hào)的大小與被淵組分濃度成比例。 
    我們所用的檢測器是薄膜微音器。接收室內(nèi)充以樣氣中的待淵組分，兩個(gè)接收室中間用一個(gè)薄的金屬膜隔開，在兩測壓力不同時(shí)膜片可以變形產(chǎn)生位移，膜片的一側(cè)放一個(gè)固定的圓盤型電極。可動(dòng)膜片與固定電極構(gòu)成了一個(gè)電容變進(jìn)器的兩極。整個(gè)結(jié)構(gòu)保持嚴(yán)格的密封，兩接收氣室內(nèi)的氣體為動(dòng)片薄膜隔開，但在結(jié)構(gòu)上安置一個(gè)大小為百分之幾毫米的小孔，以使兩邊的氣體靜態(tài)平衡。輻射光束通過參比室、丈量室后，進(jìn)進(jìn)檢測器的接收室。被接收室里的氣體吸收，氣體溫度升高，氣體分子的熱運(yùn)動(dòng)加強(qiáng)，產(chǎn)生的熱膨脹形成的壓力增大。當(dāng)丈量室內(nèi)通進(jìn)零點(diǎn)氣（N2）時(shí)，來自兩氣室的光能平衡，兩邊的壓力相等，動(dòng)片薄膜維持在平衡位置，檢測器輸出為零。當(dāng)丈量室內(nèi)通進(jìn)樣氣時(shí)，丈量邊進(jìn)進(jìn)接收室的光能低于參比邊的，使丈量邊的壓力減小，于是薄膜發(fā)生位移，故改變了兩極板問的間隔，也改變了電容量C。